产品概述： GM-2F是一款二通道混气系统（单进单出或两混气），用于情性气体的控制，可用于管式炉、手套箱、等离子清洗机、CVD系统、小型PECVD系统等。
GYS-3F是一款二通道混气系统（1单独2混气），用于情性气体的控制，可用于管式炉、等离子清洗机、CVD系统、小型PECVD系统等。
GYS-4F是一款二通道混气系统（1单独3混气），用于情性气体的控制，可用于管式炉、等离子清洗机、CVD系统、小型PECVD系统等。

- ?浮子流量计量程：10-100mL/min 、16-160mL/min、25-250mL/min
  ?精度：4%
  ?压力表量程：-0.1-0.15MPa
?通气管道：φ6.35mm的聚四氟管
?选配：浮子流量计量程可选配，5-50mL/min、50-500mL/min、0.1-1mL/min等可定制。
?混气罐尺寸：φ76*长154mm
?外形尺寸：长610mm*宽610mm*高710mm
?重量：约30Kg

详细描述：

技术资料
产品型号	?供气系统 GYS-2F/3F/4F
产品特点	?适用于低压小流量，多种气体单一/混合连续供气系统。 ?尤其方便多种气体的切换使用，而不会造成大气进入加热管。 ?气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观、实用，操作简便。 ?显示流量准确，可有效控制气体的消耗量 ?设备底部有滚动轮，方便移动使用方便，无需通电
产品参数	?浮子流量计量程：10-100mL/min 、16-160mL/min、25-250mL/min； ?精度：4% ?压力表量程：-0.1-0.15MPa ?通气管道：φ6.35mm的聚四氟管 ?选配：浮子流量计量程可选配，5-50mL/min、50-500mL/min、0.1-1mL/min等可定制。
混气罐	?内置一个不锈钢混气罐，可更好的混合气体 ?混气罐尺寸：直径76*长154mm
气口/阀门	?背面的进气与出气口均为φ6.35的卡套接头，进气口通过四氟管连接气瓶，出气口通过四氟管连接到设备的进气口 ?两个通道气体进入混气罐混气，一个气体通道独立 ?前面板的四个不锈钢针阀控制气体的进出，独立通道的进出气不受针阀控制。
产品尺寸	?外形尺寸：长610mm宽610mm高710mm ?重量：约30Kg
售后	?质保期一年，终身维护；24小时在线服务
免责声明	?本产品介绍内容（包括产品图片、产品描述、技术参数等）仅供参考。如果您对参数有异议，或者想了解产品详细信息，请与我司销售人员联系。本信息不构成任何要约或承诺，我司会不定期完善产品，恕不另行通知，请您见谅。