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?电源：220V 50/60Hz
?额定功率：3.1 KW
?最高工作温度：1200℃（＜0.5 h）
?连续工作温度：≤1100℃?推荐升温速率：≤10℃/min
?加热区长度：440mm
?热电偶：K 型
?加热元件：铁铬铝合金丝0Cr21Al6Nb
?炉管尺寸：石英管口径可选φ60
?控温精度：±1℃
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- 详细描述：
技术参数
产品型号
滑动PECVD管式炉系统 —— OYS-1200C-II-60-PECVD（φ60）
主要产品参数
?电源：220V 50/60Hz
?额定功率：3.1 KW
?最高工作温度：1200℃（＜0.5 h）
?连续工作温度：1100 ℃
?推荐升温速率：≤10℃/min
?加热区长度：440mm
?热电偶：K型
主要特点
?射频电源可以实现等离子增强从而显著降低实验温度；
?可通过炉体滑动达到快速升降温；
?可以通过射频电源的频率来控制薄膜的应力；
?可通过工艺调节控制化学计量；
?可沉积各种材料，如SiOx,SiNx,SiOxNy和（a-Si:H）等；
加热元件
?铁铬铝合金丝0Cr21Al6Nb
炉管尺寸
?石英管口径可选:φ60
温控系统
?包含一款YD858型温度控制器；PID控制和自整定调节，智能化50段可编程控制，具有超温和断偶报警功能；
?控温精度：±1℃
等离子射频电源
300W射频电源
?输出功率：0-300W可调
?射频频率：13.56MHZ
?自动匹配
?噪音＜50dB
?冷却方式：风冷
?输入电压：AC180-250V
真空密封
法兰接口
?标配：一对不锈钢密真空法兰和高温硅胶密封圈；出气端为三口法兰分别为K16,KF25,φ8.2
?出气端法兰上可以选择KF25的转接头与波纹管相连接再于真空泵相连；
真空泵
?采用双旋片式机械真空泵TRP-12
?真空度可以达到10-2torr；
?真空连接配件配有KF25卡箍及不锈钢波纹管用于连接管式炉与真空泵；
供气系统
三路质量流量混气系统---GYS-3Z
?电源：220V 50/60HZ
?量程范围分别为1-100SCCM，1-200SCCM，1-200SCCM
?有一机械压力表安装在前面板上，与混气管相连接
?压力表量程:-0.1~0.15MPa
?混气罐尺寸: φ80*120mm
?内部连接管道为?6.35
炉体结构
?炉体可以左右位移 ，射频电源可以左右位移，炉体和射频电源同时安装在同一个滑轨上，使用同一根石英管
认证标准及核心零部件
?整机核心部件均符合CE、UL、MET等认证标准；核心零部件有ABB电器元件，UL认证电线、电缆，欧米茄，宇电、欧陆仪表等。
注意事项
?炉管内气压不得高于0.02MPA；
?由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为 0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全；
?对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生(如炉 管破裂，法兰飞出等)；
?气体的流量应限制在<200 SCCM(或200ml/ min)
售后
?质保期一年，终身维护，24小时在线服务；
?特别提示：耗材部分如加热元件、炉管、坩埚等不包括在内；因使用腐蚀性气体造成的损害不在保修范围内。
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